ফটোলিথোগ্রাফি তিনটি মৌলিক প্রক্রিয়া পদক্ষেপ ব্যবহার করে একটি মাস্ক থেকে একটি ওয়েফারে একটি প্যাটার্ন স্থানান্তর করতে: কোট, বিকাশ, প্রকাশ। প্যাটার্নটি পরবর্তী প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের পৃষ্ঠ স্তরে স্থানান্তরিত হয়। কিছু ক্ষেত্রে, প্রতিরোধ প্যাটার্নটি জমা করা পাতলা ফিল্মের প্যাটার্নটি সংজ্ঞায়িত করতেও ব্যবহার করা যেতে পারে।
ফটোলিথোগ্রাফি কী এটি কীভাবে কাজ করে?
ফটোলিথোগ্রাফি হল একটি প্যাটার্নিং প্রক্রিয়া যেখানে একটি আলোক সংবেদনশীল পলিমার বেছে বেছে একটি মুখোশের মাধ্যমে আলোর সংস্পর্শে আসে, পলিমারে একটি সুপ্ত চিত্র রেখে যা প্যাটার্ন প্রদান করতে বেছে বেছে দ্রবীভূত করা যায় একটি অন্তর্নিহিত সাবস্ট্রেটে অ্যাক্সেস।
কেন ফটোলিথোগ্রাফি ব্যবহার করা হয়?
ফটোলিথোগ্রাফি মাইক্রোফ্যাব্রিকেশনের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ এবং সহজতম পদ্ধতিগুলির মধ্যে একটি, এবং এটি একটি উপাদানে বিস্তারিত প্যাটার্ন তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়। এই পদ্ধতিতে, অতিবেগুনী রশ্মির সাথে হালকা সংবেদনশীল পলিমারের নির্বাচনী এক্সপোজারের মাধ্যমে একটি আকৃতি বা প্যাটার্ন খোদাই করা যেতে পারে।
ফটোলিথোগ্রাফিতে UV আলো কেন ব্যবহার করা হয়?
ফটোলিথোগ্রাফি UV আলোর অধীনে সেল-ধারণকারী প্রিপলিমারকে ক্রসলিংক করে হাইড্রোজেলের মধ্যে কোষগুলির 3D এনক্যাপসুলেশনের অনুমতি দেয়। একটি ফটোমাস্ক পছন্দসই প্যাটার্ন পেতে ব্যবহার করা হয় [৮৮]।
ফটোলিথোগ্রাফির প্রয়োজনীয়তা কী?
সাধারণত, একটি ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজন তিনটি মৌলিক উপাদান, আলোর উৎস, ফটো মাস্ক এবং ফটোরেসিস্ট। ফটোরেসিস্ট, একটি আলোক সংবেদনশীল উপাদান,দুই প্রকার, ইতিবাচক এবং নেতিবাচক। আলোর উৎসের সংস্পর্শে আসার পর ইতিবাচক ফটোরেসিস্ট আরও দ্রবণীয় হয়ে ওঠে।
Photolithography: Step by step
